在进行耦合时，用于观察器件与器件间的接触部分以及端面发出的出射光。因为器件尺寸非常小，所以通过显微镜和变焦镜筒等进行放大后观察。
请使用实体显微镜(目视)，调焦距头+CCD相机。使用CCD相机时显示器的设备尺寸大体如图记所示。
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实体显微镜V20系列
实体显微镜套装V20系列
变焦镜头V20系列
变焦镜头VZL
同轴镜筒VMS200TWL
进行器件耦合时，需要了解观察器件的状态，确认接近状态位置等。为了有针对性地进行观察，准备了数个观察系统。
N.F.P.观察光学组件V25系列
观察组件(变焦头适用)E700、E710、E720
端面观察组件E790、E791
CCD相机VSTC、VCS
显示器VCM、VQT、V9
相机切换器VCC
冷光源VMEGA
LED照明灯VSLD、VSLDH
