非接触来检出工件6个方位的位置及姿势的传感器。
搭载了自动准直仪光学系和摄像光学系,实现了不需要切换状态下测量摄像器件的倾斜角(θxθy)、高度(Z)、平面位置(X、Y、θz)的6纬的位置(姿势)。阵容。
工序 | 轴 | 测量原理 | 范围※ | 分辨率 |
---|---|---|---|---|
倾斜角 | θxθy | 自动准直仪光学系 | ±1度 | 8.5秒 |
高度 | Z | 用摄像光学系的外部光源反射点测量 | 350μm | 1.6μm |
平面位置 | XY | 1)用摄像光学系标示2点的坐标位置 | 2.4×1.8mm | 1.0μm |
2)用摄像光学系边缘检出的直交点的坐标位置 | ||||
平面位置 (旋转) |
θz | 1)用摄像光学系边缘检出的边缘直线的角度 | 180度 | 0.02度 |
2)用摄像光学系连接标示2点的直线的角度 |
※各值是2倍光学系的情况