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手动滑台耦合装置
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系列名称 手动滑台调芯单元
(3轴):E2000S
手动滑台调芯单元
(5轴):E2000
手动滑台调芯单元
(6轴):E2200B
品名 手动滑台调芯单元
(3轴):E2000S
手动滑台调芯单元
(5轴):E2000
手动滑台调芯单元
(6轴):E2200B
产品说明 采用高分辨率手动滑台(XYZ)的3轴单元采用高分辨率手动滑台(XYZ)、倾斜滑台(θxθy)的5轴单元在高分辨率手动滑台(XYZ)、倾斜滑台(θxθy)上增加了测角仪滑台(θz)的6轴单元
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