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自动滑台耦合装置
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系列名称 自动滑台调芯单元(3轴)上方自由式
:ES3701
自动滑台调芯单元(3轴):ES3001自动滑台调芯单元(3轴)8°支持分割:ES3800
品名 自动滑台调芯单元
(3轴)
上方自由式:ES3701
自动滑台调芯单元
(3轴):ES3001
自动滑台调芯单元
(3轴)
8°支持分割:ES3800
产品说明 在XYZ轴上装入了自动滑台的单元。还能利用手动轴进行上仰方向(θxθy)的姿态调整。在XYZ轴上装入了自动滑台的单元。还能利用手动轴进行上仰方向(θxθy)的姿态调整。在XY轴的直动2轴和光轴方向的旋转轴(θz)上装入了自动滑台的单元。还能用手动轴进行高分辨率手动滑台(Z)和上仰方向(θxθy)的姿态调整。
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系列名称 自动滑台调芯单元(4轴):ES4001自动滑台调芯单元(5轴):ES5202/ES5212/ES5222自动滑台调芯单元(6轴)上方自由式
:ES6702
品名 自动滑台调芯单元
(4轴):ES4001
自动滑台调芯单元
(5轴):E5202
自动滑台调芯单元
(5轴):E5212
自动滑台调芯单元
(5轴):E5222
自动滑台调芯单元
(6轴)
上方自由式:E6702
产品说明 在XYZ轴的直动3轴和光轴方向的旋转轴(θz)上装入了自动滑台的单元。还能利用手动轴进行上仰方向(θxθy)的姿态调整。在XYZ轴的直动3轴和光轴方向的旋转轴(θz)上装入了自动滑台的单元。在XYZ轴的直动3轴和θxθyθz轴的上仰3轴上装入了自动滑台的单元。
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系列名称 自动滑台调芯单元(6轴):ES6202/ES6212/ES6222
品名 自动滑台调芯单元
(6轴):E6202
自动滑台调芯单元
(6轴):E6212
自动滑台调芯单元
(6轴):E6222
产品说明 在XYZ轴的直动3轴和θxθyθz轴的上仰3轴上装入了自动滑台的单元。
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