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| 系列名称 | 自动滑台调芯单元（3轴）上方自由式 ：ES3701 | 自动滑台调芯单元（3轴）：ES3001 | 自动滑台调芯单元（3轴）8°支持分割：ES3800 |
| 品名 | 自动滑台调芯单元 （3轴） 上方自由式：ES3701 | 自动滑台调芯单元 （3轴）：ES3001 | 自动滑台调芯单元 （3轴） 8°支持分割：ES3800 |
| 产品说明 | 在XYZ轴上装入了自动滑台的单元。还能利用手动轴进行上仰方向(θxθy)的姿态调整。 | 在XYZ轴上装入了自动滑台的单元。还能利用手动轴进行上仰方向(θxθy)的姿态调整。 | 在XY轴的直动2轴和光轴方向的旋转轴(θz)上装入了自动滑台的单元。还能用手动轴进行高分辨率手动滑台(Z)和上仰方向(θxθy)的姿态调整。 |
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| 系列名称 | 自动滑台调芯单元（4轴）：ES4001 | 自动滑台调芯单元（5轴）：ES5202/ES5212/ES5222 | 自动滑台调芯单元（6轴）上方自由式 ：ES6702 |
| 品名 | 自动滑台调芯单元 （4轴）：ES4001 | 自动滑台调芯单元 （5轴）：E5202自动滑台调芯单元 （5轴）：E5212自动滑台调芯单元 （5轴）：E5222 | 自动滑台调芯单元 （6轴） 上方自由式：E6702 |
| 产品说明 | 在XYZ轴的直动3轴和光轴方向的旋转轴(θz)上装入了自动滑台的单元。还能利用手动轴进行上仰方向(θxθy)的姿态调整。 | 在XYZ轴的直动3轴和光轴方向的旋转轴(θz)上装入了自动滑台的单元。 | 在XYZ轴的直动3轴和θxθyθz轴的上仰3轴上装入了自动滑台的单元。 |
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| 系列名称 | 自动滑台调芯单元（6轴）：ES6202/ES6212/ES6222 |
| 品名 | 自动滑台调芯单元 （6轴）：E6202自动滑台调芯单元 （6轴）：E6212自动滑台调芯单元 （6轴）：E6222 |
| 产品说明 | 在XYZ轴的直动3轴和θxθyθz轴的上仰3轴上装入了自动滑台的单元。 |
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| 系列名称 | 自动滑台调芯单元（3轴）上方自由式 ：ES3701 | 自动滑台调芯单元（3轴）：ES3001 |
| 品名 | 自动滑台调芯单元 （3轴） 上方自由式：ES3701 | 自动滑台调芯单元 （3轴）：ES3001 |
| 产品说明 | 在XYZ轴上装入了自动滑台的单元。还能利用手动轴进行上仰方向(θxθy)的姿态调整。 | 在XYZ轴上装入了自动滑台的单元。还能利用手动轴进行上仰方向(θxθy)的姿态调整。 |
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| 系列名称 | 自动滑台调芯单元（3轴）8°支持分割：ES3800 | 自动滑台调芯单元（4轴）：ES4001 |
| 品名 | 自动滑台调芯单元 （3轴） 8°支持分割：ES3800 | 自动滑台调芯单元 （4轴）：ES4001 |
| 产品说明 | 在XY轴的直动2轴和光轴方向的旋转轴(θz)上装入了自动滑台的单元。还能用手动轴进行高分辨率手动滑台(Z)和上仰方向(θxθy)的姿态调整。 | 在XYZ轴的直动3轴和光轴方向的旋转轴(θz)上装入了自动滑台的单元。还能利用手动轴进行上仰方向(θxθy)的姿态调整。 |
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| 系列名称 | 自动滑台调芯单元（5轴）：ES5202/ES5212/ES5222 | 自动滑台调芯单元（6轴）上方自由式 ：ES6702 |
| 品名 | 自动滑台调芯单元 （5轴）：E5202自动滑台调芯单元 （5轴）：E5212自动滑台调芯单元 （5轴）：E5222 | 自动滑台调芯单元 （6轴） 上方自由式：E6702 |
| 产品说明 | 在XYZ轴的直动3轴和光轴方向的旋转轴(θz)上装入了自动滑台的单元。 | 在XYZ轴的直动3轴和θxθyθz轴的上仰3轴上装入了自动滑台的单元。 |
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| 系列名称 | 自动滑台调芯单元（6轴）：ES6202/ES6212/ES6222 |
| 品名 | 自动滑台调芯单元 （6轴）：E6202自动滑台调芯单元 （6轴）：E6212自动滑台调芯单元 （6轴）：E6222 |
| 产品说明 | 在XYZ轴的直动3轴和θxθyθz轴的上仰3轴上装入了自动滑台的单元。 |
上海总公司
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