◆运动的直线度[单位：μm]
・相对于理想移动轴在水平方向或垂直方向上的最大偏移量

◆运动的垂直度[单位：μm]
・将Z轴滑台和直角基准器固定在基准面上。
・将位移计抵在直角基准器上，测量Z轴方向的数值作为垂直度。