◆平行度[单位：μm]
・将滑台固定在基准平面上。
・在整个面测量移动面相对于基准平面的平行度，将最大高低差作为平行度。



◆运动的平行度[单位：μm]
・将滑台固定在基准平面上。
・测量各定位点的基准平面和移动平面上所固定的测量设备之间的位移。
・最大差值作为运动平行度。