| 基本項目 | 型式 | ES3800-8A |
|---|---|---|
| CAD |   | |
| RoHS対応 | ○ | |
| 基本规格 | 品名 | 自动滑台调芯单元 （3轴） 8°支持分割：ES3800 |
| 8度分割用 | A型 | |
| 自重[kg] | 3.5 | |
| 光轴高度[mm] | 145 | |
| 附件 | 滑台电缆 （D214-2-2E 3个） 安装螺丝 （内六角螺栓M6-12 8个） | |
| 移动量 | 移动量：X[mm] | 20 |
| 移动量：Y[mm] | 20 | |
| 移动量：Z[mm] | 13 | |
| 移动量：Z[mm]（粗调） | ±6.5 | |
| 移动量：Z[mm]（微调） | ±0.3 | |
| 移动量：θx[±°] | 2.5 | |
| 移动量：θy[±°] | 2.5 | |
| 移动量：θz[±°] | 10 | |
| 分辨率 | 分辨率 ：X[μm/脉冲](Full) | 1 |
| 分辨率 ：X[μm/脉冲](MS1/20) | 0.05 | |
| 分辨率 ：Y[μm/脉冲](Full) | 1 | |
| 分辨率 ：Y[μm/脉冲](MS1/20) | 0.05 | |
| 分辨率 ：Z[μm/刻度]（粗调） | 10 | |
| 分辨率 ：Z[μm/刻度]（微调） | 0.5 | |
| 分辨率 ：θx[≒″/刻度] | 29.3 | |
| 分辨率 ：θy[≒″/刻度] | 27.8 | |
| 分辨率 ：θz[°/脉冲](Full) | 0.0045 | |
| 组成 | X | KXC06020-G |
| Y | KXC06020-G | |
| Z | B10-60RN | |
| θx | B51-60LN(θxy一体型) | |
| θy | B51-60LN(θxy一体型) | |
| θz | KGW06050T-LC |
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